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供應(yīng)簡(jiǎn)介

機(jī)械增壓泵是一種可顯著提高抽速的泵。通過與油旋轉(zhuǎn)真空泵或干式泵等粗抽泵組合使用，在粗抽泵抽速降低的壓力范圍內(nèi)，粗抽泵的抽速可以顯著提高。

詳細(xì)介紹

ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵

應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風(fēng)洞測(cè)試、太空探測(cè)、真空浸漬、真空干燥等眾多領(lǐng)域。

通用型機(jī)械式增壓泵

“型號(hào)：PMB Ver.D"是通用型機(jī)械式增壓泵。

可選擇可選的表面處理和常壓驅(qū)動(dòng)類型，也可以進(jìn)行風(fēng)冷運(yùn)行。

長(zhǎng)處

配備用于空氣冷卻的變頻器，可在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行風(fēng)冷作。

由于它與可從多電壓電機(jī)（200V 級(jí)、多電壓）中選擇的通用電機(jī)兼容，

因此也可以安裝防爆電機(jī)（可選）。

表面處理具有優(yōu)異的耐腐蝕性（選項(xiàng)：T 型）

主要部件經(jīng)過陽極氧化處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異。減少泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。

由于可以同時(shí)使用常壓驅(qū)動(dòng)型（選項(xiàng)：變頻器）

粗抽泵同時(shí)啟動(dòng)，可有效縮短排氣時(shí)間，因此與標(biāo)準(zhǔn)型相比，可以縮短排氣時(shí)間。

除了針對(duì)特殊應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)可選支持

外，還提供用于特殊應(yīng)用的型號(hào)。

使用示例	類型（Type）	適用型號(hào)	表面處理	排氣方向	油
空氣或惰性氣體排氣當(dāng)您想減少由于水分吸附引起的極限壓力的影響時(shí)	標(biāo)準(zhǔn)	PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D PMB2400D	?	垂直	R-42 礦物油
空氣和惰性氣體排放表面處理，提高抗異物強(qiáng)度	T	PMB100D-T、PMB300D-T、PMB600D-T、PMB1200D-T、PMB2400D-T	〇^*1	垂直	R-42 礦物油

用

氣相沉積、濺射、離子鍍

真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

分析儀器，泄漏測(cè)試設(shè)備

氣體置換、填充、真空絕熱

熱處理爐、熔煉爐

其他真空設(shè)備

規(guī)范

型號(hào) *1				PMB100D	PMB300D	PMB600D	PMB1200D	PMB2400D
最大抽速		50 赫茲	m³/h （升/分鐘）	95 （1,580）	280 （4,670）	500 （8,330）	1,000 （16,667）	2,000 （33330）	2,500 （41,667）
		60 赫茲		115 （1,920）	330 （5,500）	600 （10,000）	1200 （20,000）	2,400 （40,000）	3,100 （51,667）
最大吸入壓力		50 赫茲	帕	9.3×10³	1,2×10³	1.3×10³		2.0×103/8.0×10²
		60 赫茲		6.2×10³	9.3×10²	1,1×10³		1.5×103/6.7×10²
最大允許壓差		50 赫茲	帕	8.0×10 元³	4.0×10³	7.3×10³		3.5×103/4.7×10³
		60 赫茲		5,6×10³	3.3×10³	6.0×10³		3.0×103/4.7×10³
極限壓力 *2			帕	4.0×10^-1			6,7×10^-1
可驅(qū)動(dòng)壓力			帕	~1.0×10⁵ （常壓驅(qū)動(dòng)）
電機(jī) *3	電機(jī)功率（位數(shù)）		kW （位數(shù)）	0.4(2)	0.75(2)	2.2(2)	3.7(2)	7.5(2)
	200V 級(jí) 電機(jī)	50 赫茲	V	200	ー
		60 赫茲		200/220	ー
	多電壓電機(jī)	50 赫茲	V	220~240/380~415°C	200~240/380~415°C
		60 赫茲		208~240/380~460°C	200~240/380~460°C
使用油 *4				ULVOIL R-42
所需油量			L	0.35	0.7	1.5	1.9	4
冷卻系統(tǒng) *5				風(fēng)冷	風(fēng)冷/水冷
冷卻水	入口壓力		Mpa	ー	0.3
	入口壓差		Mpa	ー	0.05
	冷卻水量		升/分鐘	ー	2		3
	冷卻水溫度 *6		°C	ー	5~30
進(jìn)氣口 JIS-B-2290				VG50 等效值	VG80 等效值		VG100 等效值	VG200 等效值
排氣孔 JIS-B-2290				相當(dāng)于 VF50	相當(dāng)于 VF80			相當(dāng)于 VF200
尺寸 W×D×H *7			毫米	票價(jià)：267×576×180 元	票價(jià)：321×685×260	362×784×320 元	417×970×340 元	票價(jià)：520×1260×460 元
質(zhì)量			公斤	26	51	82	115	260
標(biāo)準(zhǔn)輔助泵				VD40C 系列	VD60C 系列	VD90C 系列	VS2401 系列	PKS-070B 系列	VS650B 系列
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)				CE、cTUVus
常壓驅(qū)動(dòng)逆變器規(guī)格 / 電壓兼容			200V 級(jí)	I2，A2/200V~240V（50Hz/60Hz） *8
			400V 級(jí)	I4，A4/380V~480V（50Hz/60Hz） *8

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