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ULVAC愛發科 渦輪分子泵
ULVAC愛發科 渦輪分子泵
渦輪分子泵由高速旋轉的轉子和固定定子組成。 轉子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產生真空。 這個過程利用分子的動能并且非常高效。
與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準備真空環境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環境，非常適合半導體制造等精密工作，并且具有從低真空到超高真空的廣泛適用性，并應用于各種行業和研究領域。
這是一款帶有集成控制器的渦輪分子泵，該控制器使用磁浮軸承。
泵體和控制器的集成節省了布線和空間。
長處
泵體與控制器一體化，
泵體與控制器之間無需繁瑣的布線。
自由安裝方向 由于對
安裝方向沒有限制，因此擴大了設備設計的自由度。
產品陣容包括抽速 1000L/s ~ 3000L/s 級。
適用于輕型工藝的廣域高流量設計
可在泵速的 25 ~ 100% 范圍內改變變速，并可調節腔室壓力。
高耐用性和安全性 它已通過各種安全確認測試，例如
大氣進入測試和著陸測試。
用
各種設備的
真空主排氣系統 - 半導體制造設備
- 氣相沉積設備
- 濺射設備
- 分析設備，實驗室設備等
- 研發設施
輕工藝主排氣系統，無副反應產物
用油擴散泵更換設備
其他高真空排氣應用
規范
| 型 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 進氣口 | VG150型 | ISO160F | VG200 系列 | VG250 系列 | ISO200F | ISO250F | VG250 系列 | ISO250F | VG300 系列 | VG350型 | ISO320F | |
| 排氣口 | 肯氟烴40 | |||||||||||
| 極限壓力 *1 | 10-7 帕 | |||||||||||
| 抽速 *2*3 | 注 2 | 1030 升/秒 | 1400 升/秒 | 2100 升/秒 | 3200 升/秒 | |||||||
| 氦氣 | 980 升/秒 | 1330 升/秒 | 2000 升/秒 | 3100 升/秒 | ||||||||
| H2 系列 | 660 升/秒 | 750 升/秒 | 1380 升/秒 | 2100 升/秒 | ||||||||
| 壓縮比 | 注 2 | 2×108 | 1×108 超過 | 1×109 超過 | ||||||||
| 他 | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||||||||
| H2 系列 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||||||||
| 最大入口壓力 *4 | 26 帕 | 4.5 帕 | 7 帕 | |||||||||
| 最大排氣口壓力 *4 | 266 帕 | 200 帕 | 270 帕 | |||||||||
| 轉速 | 37200 分鐘-1 | 33700 分鐘-1 | 27600 分鐘-1 | |||||||||
| 變速功能 | 運行速度可在泵規定轉速的 25% ~ 100% 之間變化。 （設置以 0.1% 為增量） | |||||||||||
| 啟動時間 | 8 分鐘或更短 | 9 分鐘或更短 | 16 分鐘或更短 | |||||||||
| 安裝方向 | 可全向安裝 | |||||||||||
| 表面處理 *5 | 沒有 | |||||||||||
| 外部控制 | 遠程 接口 | D-sub 25 針母觸點輸入/輸出 | D-sub 37 針母觸點輸入/輸出 | |||||||||
| 串行 接口 | 專用圓形連接器 RS232C/RS485 | D-sub 9 針公頭 RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 配置 | 與泵體集成（內置于底部） | ||||||||||
| 權力 | 單相 AC200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||||
| 最大功率要求 | 0.75千瓦 | 1.2千伏安 | ||||||||||
| 冷卻方式 | 水冷式 | |||||||||||
| 冷卻水 *6 | 流量 | 3~4 升/分鐘 | ||||||||||
| 水壓 | 0.2 ~ 0.4 MPaG | |||||||||||
| 噪聲 | 57 分貝（A） | 60 分貝（A） | ||||||||||
| 質量 | 43 千克 | 41 千克 | 56 千克 | 94 千克 | ||||||||
| 推薦輔助泵 *7 | 600L/min 或更高 | 1500L/min 或更高 | ||||||||||
| 法規遵從性 | CE、TUVus | |||||||||||
| 標準配件 | 進氣口 O 形圈（僅限 VG）、排氣口防塵帽、遙控器連接器、使用說明書 （CD-ROM） | |||||||||||
| 選型規格 | 交流電纜 | 交流連接器/交流電纜 （5m/10m/15m/20m） | ||||||||||
| 用于固定泵的特殊螺栓 | M10/M12 系列 | |||||||||||
| 您需要一個特殊的螺栓來固定泵嗎？ | 必需 （M10） *8 | 不需要 *8 | ||||||||||
| 可選配件 | 氣口適配器：KF10 | |||||||||||
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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