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供應(yīng)簡介

熱陰極電離真空計(jì)是一種利用氣體電離現(xiàn)象的真空計(jì)。

詳細(xì)介紹

ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計(jì)

榮獲 2021 年日本真空工業(yè)協(xié)會“真空組件獎"

這是傳感器類型“型號：G-TRAN"多離子計(jì)的新型號，可以連接不同測量范圍的測量元件。這種三極管型電離真空計(jì)不易受到靈敏度的影響，即使在真空計(jì)難以控制的環(huán)境中也能進(jìn)行更長時間、更準(zhǔn)確的真空測量。在繼承高使用壽命和低運(yùn)行成本的傳統(tǒng)理念的同時，我們進(jìn)行了更加用戶友好的改進(jìn)。

長處

可用性改進(jìn)：可以通過 PC/智能手機(jī)連接設(shè)置設(shè)定點(diǎn)、狀態(tài)檢查等。

燈絲壽命通知功能：燈絲電量監(jiān)控可提前通知燈絲壽命

可連接不同測量范圍的傳感器：多離子計(jì)允許根據(jù)應(yīng)用選擇測量元件

緊湊性：比傳統(tǒng)產(chǎn)品小得多（控制器體積減少 56%），是很小的級別

產(chǎn)品陣容充實(shí)：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）

第一臺三極管金屬電離真空計(jì)（即使在惡劣的環(huán)境中，真空計(jì)也能保持長壽命

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空（1×10）+5~1×10-5Pa）（連接到可選單元 SWU10-R 時）

精確的大氣壓力測量：可以檢查腔室打開時的大氣壓力（當(dāng)連接到可選單元 SAU 時）

用

用于檢查 OLED 和觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力，以及用于過程管理

用于檢查真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力

用于在含有大量碳?xì)浠衔铮ㄓ突┑臍夥罩羞M(jìn)行測量

用于在真空部件加工過程中殘留切削油和清潔液的氣氛中進(jìn)行測量

對于希望減少真空計(jì)測量裝置更換頻率的真空設(shè)備

* 如果您想在腐蝕性氣體（鹵素氣體）環(huán)境中使用它，請聯(lián)系我們。

規(guī)范

型		ST200-A 系列	ST200-R 系列	ST200-E（即將發(fā)布）
規(guī)范		標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格	串行通信規(guī)格	EtherCAT 規(guī)范
自適應(yīng)多離子計(jì)傳感器		SWT-16（NW16）， SWT-25（NW25）
可連接的傳感器		多離子真空計(jì)傳感器：1 皮拉尼真空計(jì) SWU10-R：1（可選）大氣壓力傳感器 SAU：1（可選）
重復(fù)性（N₂)		ST200 獨(dú)立模式：±2%
采樣時間		60ms 5 移動平均線處理
測量值輸出		輸出電壓 DC 0~10V LOG 輸出 0.75V/個位數(shù) 壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2}
更新時間		60 毫秒
控制輸入信號		FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF 使用集電極開路輸入、負(fù)邏輯運(yùn)行	-	-
控制輸出信號		傳感器錯誤，設(shè)定點(diǎn) 1/2/3，發(fā)射有效，燈絲功率監(jiān)控額定值：24V MAX，50mA MAX，1V 飽和電壓	-	-
串行通信規(guī)格		-	RS232C/RS-485 接口	EtherCAT 技術(shù)
LED 指示		POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
發(fā)射電流		2mA（1×10^-2Pa 或更低）、10 μA （1×10^-2PA 或更高）
DEGAS		電子轟擊方式，發(fā)射電流 2 mA，電網(wǎng)電壓約 330 V
傳感器耐壓		2×10⁺⁵Pa （絕對壓力） * 法蘭和卡箍等耐壓性必須單獨(dú)考慮。
傳感器內(nèi)部容積		17 厘米³（SWT-16），19 厘米³（SWT-25）
工作溫度范圍		10~50°C
工作濕度范圍		15~80% （無結(jié)露）
儲存溫度		-20~65°C（斷電時，無冷凝）
IP 防護(hù)等級		IP30 防護(hù)等級
電源電壓		DC20~28V（紋波、噪聲 1% 以下） 8W 或更低
輸入/輸出連接器		D-sub 15 針（M2.6 螺絲）
質(zhì)量		控制器：約 280g 測量元件（SWT-16、SWT-25）：80g
尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm（控制器）
法規(guī)遵從性		CE
Op-syeong （奧普祥）	多離子計(jì)傳感器	SWT-16 （NW16）， SWT-25 （NW25）材質(zhì) ：燈絲： Ir/Y₂O₃ 涂層其他： PtC-Mo， SUS304， W，可伐合金玻璃，可伐合金/鎳電鍍
	皮拉尼真空計(jì)	SWU10-R *兼容傳統(tǒng) SPU
	皮拉尼儀表傳感器	SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）， SWP-CF16（ICF034）材質(zhì) ：細(xì)絲-Pt，其他-BS/Ni，電鍍， Ni，焊錫
	氣壓傳感器	SAU（NW16）材質(zhì)：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2mGUC-200A （用于 SAU）：0.5m、1m、2m
	顯示單位	1CH：ISG1（使用 24V DC 電源）
	顯示單元電纜	SH200 ~ 顯示單元電纜 2m， 5m， 10m， 15m， 20m， 25m， 30m， 35m， 40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket （M2.6mm 螺絲））
	其他	檢驗(yàn)報(bào)告、通用校準(zhǔn)檢驗(yàn)報(bào)告、JCSS 校準(zhǔn)證書

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