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ULVAC愛發科 冷陰極電離真空計
ULVAC愛發科 冷陰極電離真空計
“Model：G-TRAN" 是一種真空計，基于以下理念開發的：（1） 降低設備成本，（2） 節省空間，（3） 減少配線，以便將各種設備的過程控制集中化和小型化。
它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可以根據應用進行組合。
長處
測量元件與測量電路的集成結構
模擬和設定點輸出
獨立的偽對數輸出和設定值輸出（顯示單位）
48 x 96mm DIN 標準尺寸（顯示單元）
用
用于半導體和電子元件等各種制造設備的過程控制
用于各種工業設備（如熔爐）的過程控制
用于對具有許多工藝腔室的各種制造設備進行過程控制，例如在線和單晶圓類型
規范
| 類型 | 傳感器單元 | ||
| 型 | SC1 | ||
| 自適應測量元件 | C-21、23、24、25 | ||
| 測量壓力范圍 | 1.0×10-5 ~ 1.0 帕 | ||
| 測量精度 | +100%， -50%（1.0×10-4 ~ 1.0×10-1） | ||
| 工作溫度范圍 | 10 ~ 40°C | ||
| 測量值輸出 | 非線性輸出：DC0V ~ 10V（HV-OFF 時為 10V） | ||
| SETPOINT1/2 調節輸出 | 非線性輸出：DC0 ~ 10V | ||
| 控制輸入信號 | HV 開/關 | ||
| 輸出信號 | 集電極開路，負邏輯 | ||
| 控制輸出信號 | 放電確認/設定點 1/2 | ||
| LED 指示 | 功率、HV、壓力保護、設定點 1/2 | ||
| 權力 | DC24V±2V、150mA | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub - 15 針（M2.6 螺絲） | ||
| 體重 | 430g （不包括測量元件） | ||
| 附屬品 | 1 個 I/O 連接器 | ||
| 快速手冊 1 份 |
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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