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ULVAC愛發科 氣體分析儀
ULVAC愛發科 氣體分析儀
革命性的簡單性和易用性與 ULVAC 的新型殘余氣體分析儀 (RGA) 相結合。 這是過程監控新標準的出現,它體現了各種生產線上設備工程師的聲音。 它非常適合真空沉積設備和各種真空爐的設備管理。
長處
性價比優異的通用規格
測量質量數范圍 1~100 amu
集成顯示設計:無需計算機即可進行測量
易于使用: 一鍵功能: 對每個人都很容易。 無需并發癥
加強泄漏檢測功能
可以進行全壓測量
標配 Qulee QCS 軟件
符合 CE 標準
用
真空沉積設備和濺射設備等沉積設備的殘余氣體分析
高真空排氣系統的殘余氣體分析
冷凍干燥機中的殘余氣體分析
用于研發的各種氣體分析
規范
分辨率:M/△M=1M(10% P.H.)
型 | BGM2-101 系列 | BGM2-201 型 | 型號 BGM2-102 | BGM2-202 系列 |
質量分離法 | 四極桿質譜儀 | |||
質量數范圍 | 1~100 阿姆 | 1~200 AMU | 1~100 阿姆 | 1~200 AMU |
探測器 | 法拉第杯 | 二次電子倍增管法 拉第杯 | ||
敏感性 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
最小感應分壓 | 10-8帕 | 10-12帕 | ||
最大工作壓力 | 1x10-2帕 | |||
總壓力測量功能 | 和 | |||
一鍵功能 | 是/他/H2O/N2/O2/任何氣體 | |||
一鍵式泄漏 檢查 | 和 | |||
電源電壓 | DC24V±10% 50W | |||
最高烘烤 溫度 (連接傳感器單元時) | 120°C | |||
最高烘烤 溫度 (拆下傳感器單元時) | 250°C | |||
工作溫度范圍 | 10~40°C | |||
軟件 | Qulee QCS Ver4.2 或更高版本(兼容 Windows 8/10/11) | |||
法規遵從性 | CE |
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品: 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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