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ULVAC愛發科 擺閥
ULVAC愛發科 擺閥
這是采用 ULVAC 專有技術開發的大型擺閥（閘閥）。
可用于顯示器沉積設備等大型真空設備。
長處
愛發科的機構：
密封機構，沒有機械鎖緊機構和反壓取消機構，
結構極少，導致顆粒產生的滑動部件很少，在開閉作和密封過程中幾乎沒有
沖擊（振動）。
出色的可
維護性裝置，無需從泵上拆下閥門即可安裝和拆卸閥體單元可以通過從外殼拆卸的狀態上拆下一個螺栓來安裝和拆卸閥體單元。
“型號：VFR"的安裝姿勢是 360 度自由的。
用
大型顯示器制造設備
OLED 制造設備
真空設備用其他主閥和隔板閥
規范
| 型 | VFR-400型 | VFR-500 系列 | |
| 標稱口徑 | Φ400毫米 | Φ500毫米 | |
| 連接法蘭（相當于 JIS B2290） | VF400 系列 | VF500 系列 | |
| 開閉規格 | 2 位 | ||
| 開合作原理 | 氣動驅動 | ||
| 開閉動作時間（2 位規格） | 8 秒或更小 | 12 秒或更短 | |
| 閥板密封性能 | 反壓支持 | ||
| 可使用閥板密封的最大壓差（正壓時） | 0.12 MPa | ||
| 可用閥板密封的最大壓差（反壓時） | 0.12 MPa | ||
| 打開和關閉時的最大允許壓差（正壓下） | 0.5 千帕斯卡 | ||
| 打開和關閉時的最大允許壓差（在反壓下） | 0.5 千帕斯卡 | ||
| 開路 Conductance | 50000升/秒 | 90000升/秒 | |
| 工作壓力范圍 | 1.0×10-5Pa~0.12MPa（絕對壓力） | ||
| 允許烘烤溫度（靜止時） | 閥體 | 120°C 或更低 | |
| 圓柱體 | 80°C 或更低 | ||
| 工作環境溫度 | 10~80°C | ||
| 工作液溫度 | 10~80°C | ||
| 氣缸動力壓力氣動壓力 | 0.5~0.7MPaG | ||
| 壓力氣動給料孔 | Φ8 管件 | ||
| 維護周期 | 100,000 次 | ||
| 安裝姿勢 | 自由 | ||
| 主要部件材料 | 閥體 | AC4CH-T6 系列 | |
| 閥板 | AC4CH-T6 系列 | ||
| 密封組件材料 | 真空側 | 氟橡膠 | |
| 脂肪和油 | Z300 潤滑脂 | ||
| 總質量 | 98 公斤 | 155 公斤 | |
| 面對面尺寸 | 150 毫米 | 170 毫米 | |
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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