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供應(yīng)簡(jiǎn)介

真空計(jì)（Vacuum Gauge），又稱真空壓力計(jì)或真空規(guī)，是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)內(nèi)氣體壓力的儀器。

詳細(xì)介紹

SATOVAC佐藤皮拉尼真空計(jì)

真空計(jì)（Vacuum Gauge），又稱真空壓力計(jì)或真空規(guī)，是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)內(nèi)氣體壓力的儀器。其工作原理基于不同壓力范圍內(nèi)氣體分子的物理特性變化，通過傳感器將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，*終以數(shù)字或模擬方式顯示真空度。真空計(jì)廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)制造、半導(dǎo)體、航空航天等領(lǐng)域，是真空技術(shù)的關(guān)鍵測(cè)量設(shè)備。

它是一種使用皮拉尼球體覆蓋低真空范圍的皮拉尼真空計(jì)，測(cè)量范圍為 0.14Pa~2.6kPa。由于采用固態(tài)電路，即使在電源波動(dòng) （90V~110V）的情況下也能表現(xiàn)出極其穩(wěn)定的運(yùn)行，并提供可靠的測(cè)量值。

真空計(jì)的應(yīng)用領(lǐng)域

真空計(jì)在多個(gè)行業(yè)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要作用：

1. 半導(dǎo)體與電子制造

用于晶圓加工、薄膜沉積、離子注入等工藝，確保高真空環(huán)境（10?? ~ 10?? Pa）的穩(wěn)定性。

在真空封裝（如MEMS傳感器）中監(jiān)測(cè)殘余氣體壓力。

2. 工業(yè)制造與材料處理

真空爐：在金屬熱處理、燒結(jié)過程中控制真空度，防止氧化。

真空鍍膜：監(jiān)測(cè)PVD（物**相沉積）、CVD（化學(xué)氣相沉積）設(shè)備的真空環(huán)境。

3. 科研與實(shí)驗(yàn)室

高能物理實(shí)驗(yàn)（如粒子加速器）需要超高真空（<10?? Pa）環(huán)境。

空間模擬艙：模擬太空環(huán)境，測(cè)試航天器部件的真空適應(yīng)性。

4. 醫(yī)療與生物技術(shù)

冷凍電鏡（Cryo-EM）需要高真空環(huán)境以保持樣本穩(wěn)定性。

真空**設(shè)備中監(jiān)測(cè)壓力，確保**效果。

測(cè)量范圍	2×103~2×10-1Pa （2 個(gè)量程）
壓力單位	帕
記錄器輸出	滿量程 10 mV
電源電壓	AC100V±10% 50Hz/60Hz 8VA
尺寸	寬217×深135×高100 毫米
質(zhì)量數(shù)量	2.2 千克
統(tǒng)治者	PW-2 φ15 儀表端口安裝

1. 真空計(jì)的核心組成
傳感器：根據(jù)測(cè)量原理不同，可分為機(jī)械式、熱傳導(dǎo)式、電離式等。
信號(hào)處理電路：放大和轉(zhuǎn)換傳感器信號(hào)，提高測(cè)量精度。
顯示/輸出單元：數(shù)字顯示、模擬指針或數(shù)據(jù)接口（RS485、USB等）。
校準(zhǔn)系統(tǒng)（部分**型號(hào)）：確保長期測(cè)量準(zhǔn)確性。
2. 真空計(jì)的分類
根據(jù)不同測(cè)量原理和適用壓力范圍，真空計(jì)主要分為以下幾類：
類型測(cè)量范圍（Pa）工作原理典型應(yīng)用
機(jī)械式真空計(jì) 10? ~ 10?1 利用彈性元件（如波登管、薄膜）變形測(cè)量壓力粗真空測(cè)量（如真空包裝、空調(diào)系統(tǒng)）
熱傳導(dǎo)真空計(jì) 103 ~ 10?3 基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力變化的特性中低真空（如真空爐、鍍膜設(shè)備）
電離真空計(jì) 10?1 ~ 10?? 通過電離氣體分子測(cè)量離子電流高真空（如電子顯微鏡、半導(dǎo)體制造）
電容式真空計(jì) 10? ~ 10?? 利用電容變化測(cè)量薄膜位移高精度真空控制（如科研實(shí)驗(yàn)）
復(fù)合真空計(jì) 10? ~ 10?? 結(jié)合多種傳感器，覆蓋寬量程全范圍真空監(jiān)測(cè)（如航天測(cè)試）

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