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膜厚測(cè)量?jī)x本設(shè)備利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量，測(cè)量吸收或者透明襯底上薄膜的厚度以及折射率，同時(shí)提供樣品反射率，測(cè)量精度達(dá)到埃級(jí)的分辨率，測(cè)量迅速，操作簡(jiǎn)單，界...
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