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它由真空泵FV-W和真空鑷子C007組成。
●無(wú)需設(shè)置單獨(dú)的泵進(jìn)行吸入和排出，而是在一個(gè)系統(tǒng)中兼用，因此可以實(shí)現(xiàn)緊湊的機(jī)身。
●由于該結(jié)構(gòu)將吸入和排出兩個(gè)回路連接到一個(gè)組合連接器（雙管），因此只需一根管子即可吸入和排出。
四、應(yīng)用領(lǐng)域
▌ 半導(dǎo)體制造
晶圓蝕刻（10?? mbar超高真空）
鍍膜設(shè)備（分子泵+低溫泵組合）
▌ 醫(yī)療設(shè)備
MRI超導(dǎo)磁體抽真空
真空冷凍干燥機(jī)（-80℃工況）
▌ 科研實(shí)驗(yàn)
粒子加速器（10?1? mbar）
太空環(huán)境模擬艙
▌ 工業(yè)產(chǎn)線
食品真空包裝（10?2 mbar）
鋰電池注液除氣泡
技術(shù)趨勢(shì)
智能化：AI預(yù)測(cè)性維護(hù)（準(zhǔn)確率>95%）
微型化：MEMS真空泵（芯片級(jí)尺寸）
綠色技術(shù)：無(wú)氟潤(rùn)滑劑應(yīng)用
混合系統(tǒng)：渦旋+吸附泵復(fù)合抽氣
結(jié)論：真空泵作為現(xiàn)代工業(yè)的"真空心臟"，其技術(shù)發(fā)展直接推動(dòng)半導(dǎo)體、新能源等產(chǎn)業(yè)進(jìn)步。干式、節(jié)能、智能化將成為未來(lái)主流方向。
