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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG900M
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG900M

地:日本

貨物所在地:四川成都市

更新時(shí)間:2025/6/20 16:15:05

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渦輪分子泵(Turbomolecular Pump)是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克(W. Becker)研制成功,現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。


詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG900M

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG900M

渦輪分子泵(Turbomolecular Pump)是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克(W. Becker)研制成功,現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過(guò)轉(zhuǎn)子葉片以超音速(通常300-600m/s)運(yùn)動(dòng),直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度,從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵主要分為兩大類:

復(fù)合式渦輪分子泵:結(jié)合渦輪級(jí)和牽引級(jí),具有更寬的工作壓力范圍

純渦輪分子泵:全部由渦輪葉片組成,在超高真空下性能更優(yōu)

現(xiàn)代渦輪分子泵通常由電機(jī)、轉(zhuǎn)子組件、軸承系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和外殼五大部分組成,采用精密動(dòng)平衡技術(shù)確保高速運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。

進(jìn)氣法蘭

VG150型

CF160 型

ISO-B160 材質(zhì)

抽速N2 (升/秒)900
N2(帶保護(hù)網(wǎng)) (升/秒)860
H2 (升/秒)1050
最大壓縮比N21×108 
H21,5×10%4 
極限壓力VG/ISO-B/CF (帕)<1×10-6 / <1×10-7 
VG?ISO-B/CF (托)<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大氣體流速*1N2 (SCCM)3000
啟動(dòng)時(shí)間(分鐘)4~5
停機(jī)時(shí)間(分鐘)4~5
允許的輔助壓力(Pa / Torr)500 / 3.8 
推薦的輔助泵(升/分鐘)≧250
安裝姿勢(shì)自由
重量 (kg) VG/ISO-B/CF34 / 42 
控制器類型TC010MA
特殊規(guī)格
(我們的銷售代表。 )
-化學(xué)型
- 對(duì)應(yīng)反應(yīng)產(chǎn)物 TG-MI
- 超低振動(dòng)規(guī)格 TG-ML
- 超高真空型 TG-MU
- 耐輻射型 TG-MR


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