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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> Osaka大阪真空 軸承型渦輪分子泵 TG427M
所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時(shí)間：2025/6/20 16:27:12
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Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG427M
Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG427M
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過(guò)轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
渦輪分子泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域
（一）半導(dǎo)體制造
晶圓加工設(shè)備（刻蝕、離子注入等）
光刻機(jī)真空系統(tǒng)
半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備
（二）科學(xué)研究
高能物理實(shí)驗(yàn)裝置
表面分析儀器（XPS、AES等）
空間環(huán)境模擬設(shè)備
（三）分析儀器
質(zhì)譜儀
電子顯微鏡
同步輻射裝置
（四）特種工藝
分子束外延（MBE）
納米材料制備
精密光學(xué)鍍膜
（五）新興領(lǐng)域
量子計(jì)算研究
核聚變實(shí)驗(yàn)裝置
先進(jìn)材料研發(fā)
省電設(shè)計(jì)
運(yùn)行數(shù)據(jù)、觸地計(jì)數(shù)、型號(hào)信息等可以存儲(chǔ)在主機(jī)中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。
各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：NRTL/SEMI-S2/CE
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