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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG800F
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG800F
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環境。
渦輪分子泵的典型應用領域
（一）半導體制造
晶圓加工設備（刻蝕、離子注入等）
光刻機真空系統
半導體鍍膜設備
（二）科學研究
高能物理實驗裝置
表面分析儀器（XPS、AES等）
空間環境模擬設備
（三）分析儀器
質譜儀
電子顯微鏡
同步輻射裝置
（四）特種工藝
分子束外延（MBE）
納米材料制備
精密光學鍍膜
（五）新興領域
量子計算研究
核聚變實驗裝置
先進材料研發
* 排放腐蝕性氣體時，請選擇化學相容性 TG-M 或 TG 系列。
它可以從各個方向直接安裝在
設備上，具有靈活的安裝姿勢。 管道設計簡單，可實現高效排氣。
耐振動性和耐加速性耐
振動性，即使在泵運行時也可以移動。 我們有良好的記錄，即使在我們過去經歷過的最大地震中也能重新啟動。 它也可以安裝在運動部件上，例如排氣車和腔室門。
通過簡化緊湊的尺寸結構，
可以實現小型化和輕量化。
快速啟動
更快，待機時間更短。
抗大氣進入的結構由于
它可以承受突然的壓力上升，因此對于因泄漏而快速停止、頻繁啟動和停止以及反復進入大氣也很有效。
可長期使用：
適當檢修后可長期使用。 * 泵的設計壽命為 100,000 小時或更長時間
它
配備了一個符合 RS232C 標準的串行接口，能夠作為標準進行串行通信。
符合安全標準的 NRTL/SEMI-S2/CE
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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