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Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態復合分子泵 TG350F
Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態復合分子泵 TG350F
柔性姿態復合分子泵是一種集成了分子泵和機械泵工作原理的高真空獲取設備,通過創新的結構設計實現了泵體在空間姿態上的靈活適應性。與傳統分子泵相比,該類型泵采用了復合式抽氣機制,結合了渦輪分子泵的高抽速特點和牽引分子泵的高壓縮比優勢,同時通過柔性支撐系統和智能控制技術,使泵體能夠在傾斜、旋轉等多種姿態下穩定工作。
柔性姿態復合分子泵的顯著優勢
1. 空間適應性強
相比傳統分子泵嚴格的安裝姿態要求(通常限于±5°偏差),柔性姿態設計允許設備在復雜空間布局中靈活安裝。這一特性極大拓展了分子泵在移動平臺、航天器等特殊環境中的應用可能性,解決了傳統設備因空間限制無法安裝的難題。
2. 性能穩定性優異
復合抽氣機制使泵在寬壓力范圍內保持平穩的抽速曲線,避免了傳統分子泵在過渡區域的性能波動。實測數據顯示,柔性姿態復合分子泵在10-2至10-6Pa范圍內的抽速波動小于±5%,遠優于常規設計的±15%行業標準。
3. 可靠性大幅提升
柔性支撐系統可吸收80%以上的振動能量,使軸承壽命延長3-5倍。智能監控系統實時檢測轉子狀態,在異常振動發生前即可預警,將意外停機風險降低90%。平均時間(MTBF)可達50,000小時以上。
4. 能耗效率優化
通過計算流體動力學(CFD)優化的葉片型線使氣體傳輸效率提升20%,配合變頻驅動技術,整體能耗比同級傳統分子泵低15-30%。在連續工作模式下,年節省電費可達數千元。
型 | TG350F 系列 | |
進氣法蘭 | VG100 ISO-R100 CF100 | |
抽速 | VG / ISO-R?CF N2 (升/秒) | 350 / 330 |
VG / ISO-R?CF N2(帶保護網) (升/秒) | 330 / 310 | |
VG / ISO-R?CF H2 (升/秒) | 210 / 210 | |
最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 2×103 | |
極限壓力 | (Pa / Torr) | <1×10-6 / <7.5×10-9 |
最大氣體流速※1 | (SCCM) | 500 |
啟動時間 | (分鐘) | 2-2.5 |
停機時間 | (分鐘) | 5-6.5 |
允許的輔助壓力 | (Pa / Torr) | 260 / 2 |
推薦的輔助泵 | (升/分鐘) | ≧80 |
安裝姿勢 | 自由 | |
質量 | VG/ISO-R/CF(千克) | 6 / 9 |
控制器類型 | TC353 系列 |
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品: 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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