ASML是高精度氣浮直驅轉臺，采用旋轉電機直接驅動，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度。除了市場前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運動性能外，ASML氣浮轉臺還提供可靠的旋轉定位精度、重復性和負載能力，很容易集成到多軸運動系統(tǒng)中。

ASML轉臺采用杰出的工業(yè)化設計，轉動臺面尺寸從150mm到300mm不等，厚度輕薄的設計下仍能保證高性能，選用高精度圓光柵位置反饋，定位精度小于1角秒，軸向和徑向跳動小于250nm。ASML轉臺采用地心科技自主研發(fā)的圓形直驅電機，尺寸靈活設計。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，ASML轉臺的在位穩(wěn)定性和最小步進量小于0.5角秒。主要應用在測量檢測、生物樣片加工及觀測、同步加速研究、精密制造、光學對準和系統(tǒng)校準等需要角秒級定位精度的工業(yè)領域與科研項目。