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當前位置：無錫地心科技有限公司>>定制運動系統>> ZTT200系列 定制運動系統
| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
ZTT200是垂直升降與水平調平三軸一體式精密定位平臺，利用三個直線電機驅動，采用精密球形鉸鏈耦合，具備非常優秀的微動精度和動態性能，整體高度小，尺寸精巧，厚度60mm，臺面直徑200mm，負載能力可達8kg，兼容潔凈室環境使用。
ZTT200是一款兼具點到點的靜態定位精度，同時具備非常突出的動態精度，可以適應對微動和動態跟隨誤差要求嚴格的晶圓檢測、光學對準、面板檢測或者無掩膜光刻等應用，可以根據傳感器聚焦高度實時調整高度和角度姿態，解決客戶的運動控制難題。
ZTT200平臺最小步進測試
100nm最小步進
1角秒最小步進
備注：
(1) 空載，需配置相應功率的放大器；
(2) 默認測試點位置為臺面上方25 mm。
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