ART95系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)是納米級(jí)定位精度的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。行程可以根據(jù)客戶需求定制，可作為單軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)使用也可以與ART95LZ系列升降臺(tái)或者RSML系列轉(zhuǎn)臺(tái)搭配使用，組成不同的多軸配置來(lái)滿足客戶應(yīng)用。

ART95系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力，最大速度可達(dá)500mm/s，空載加速度可達(dá)1g。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，ART95系列平臺(tái)的在位穩(wěn)定性3nm和最小步進(jìn)量可以小于5nm，主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測(cè)、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測(cè)序以及光學(xué)領(lǐng)域的光路對(duì)準(zhǔn)等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

精巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)保證了ART95系列平臺(tái)出色的精度和動(dòng)態(tài)性能，特別是在速度穩(wěn)定性要求苛刻的應(yīng)用中，其優(yōu)異性能得到了很好的體現(xiàn)，例如在掃描檢測(cè)應(yīng)用中，要求直線軸勻速20mm/s， ART95系列平臺(tái)勻速段動(dòng)態(tài)跟隨誤差小于±100nm，有很好的速度穩(wěn)定性，能夠出色地完成項(xiàng)目任務(wù)。

ART95系列平臺(tái)最小步進(jìn)和在位穩(wěn)定性測(cè)試

5nm最小步進(jìn)（ASH反饋選項(xiàng)，配置線性放大器）

<3nm在位穩(wěn)定性（ASH反饋選項(xiàng)，配置線性放大器）

備注：

（1）適配-ASH反饋，線性放大器；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（3）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（4）其他行程可定制。