SMH225SD系列 絲杠驅(qū)動直線臺是可靈活配置的機械直線運動平臺，采用交流無刷伺服電機加滾珠絲杠驅(qū)動，最大速度可達(dá)300mm/s。SMH225SD系列平臺可以作水平直線軸使用，也可以選擇帶斷電自鎖功能的抱閘配置，作為Z軸平臺與LM系列直線電機平臺配合使用。SMH225SD系列 絲杠驅(qū)動直線臺有旋轉(zhuǎn)編碼器和直線光柵尺多種反饋配置供客戶選擇，選配旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率小于0.5μm，光柵尺選項分辨率小于0.1μm。

SMH225SD系列高性能機械式直線導(dǎo)軌運動平臺是精密機械中的關(guān)鍵部件之一，其主要特點是結(jié)構(gòu)堅固，具備較強承載能力，一般選配抱閘選項作Z向調(diào)焦臺使用，主要應(yīng)用于OLED切割、PCB鉆孔等激光加工領(lǐng)域的激光器或振鏡調(diào)焦、表面形貌測量的縱向掃描、以及數(shù)控加工、生物技術(shù)、IC封裝設(shè)備等領(lǐng)域。

SMH225SD系列平臺最小步進和在位穩(wěn)定性測試

±30nm 在位穩(wěn)定性

100nm 最小步進

SMH225SD系列平臺動態(tài)性能測試

10kg負(fù)載，200mm/s往返運動測試

備注：

(1)適配-AS反饋；

(2)適配-2500線旋轉(zhuǎn)編碼器反饋；

(3)空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

(4)默認(rèn)測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

(5)其他行程可定制。