LAB165S系列 氣浮直驅(qū)直線臺是納米級定位精度的氣浮平臺，采用直線電機驅(qū)動，利用空氣彈性勢能作為支撐導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率最大可達(dá)120Hz以上。LAB165S平臺采用磁預(yù)載技術(shù)，利用空氣導(dǎo)軌支撐滑塊運動，同時利用磁場產(chǎn)生反向壓力保證空氣導(dǎo)軌的正常氣隙。專業(yè)的設(shè)計鑄就了LAB165S平臺杰出的幾何性能，在200mm行程內(nèi)，其平面度和直線度小于±0.6μm，Pitch/Yaw/Roll擺角指標(biāo)小于±2.5 arc sec，適用于半導(dǎo)體等對潔凈程度要求較高或者對直線度和平面度要求比較高的應(yīng)用。

LAB165S系列 氣浮直驅(qū)直線臺有較強的驅(qū)動能力，最大空載速度1000mm/s，空載加速度可達(dá)0.5g，主要應(yīng)用于光學(xué)透鏡檢測，半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測，精密制造和封裝，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。

LAB165S系列平臺最小步進(jìn)測試

10nm最小步進(jìn)（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

20nm最小步進(jìn)（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

LAB165S系列平臺動態(tài)性能測試

2.2mm@40ms@±350nm（實驗室環(huán)境，配置線性放大器）

備注：

（1）適配-ASH反饋，配置線性放大器；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（3）默認(rèn)測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實際載荷和工作點位置有關(guān)；

（4）氣缸供氣需配置空濾三聯(lián)件，必須清潔、干燥，過濾至0.25μm以下顆粒，建議使用純度為99.9%的氮氣。氣壓根據(jù)平臺實際負(fù)載重量可調(diào)。

（5）為了防止空氣軸承氣壓不足，建議安裝氣壓開關(guān)，信號輸入到運動控制器連接急停（E-STOP）端口。