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CFT-XY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY是納米級(jí)定位精度的XY一體式精密定位平臺(tái)，直線電機(jī)直驅(qū)控制，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。CFT-XY系列平臺(tái)有杰出的工業(yè)化設(shè)計(jì)，外觀設(shè)計(jì)及幾何尺寸非常合理，同時(shí)全行程平面度和直線度小于±1.5μm。其中CFT-200XY系列平臺(tái)動(dòng)態(tài)性能佳，以40mm/s的速度做直徑2.2mm的圓形軌跡運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)跟隨誤差小于0.5μm， 是精密激光加工和飛拍掃描檢測(cè)的優(yōu)選平臺(tái)。

CFT-XY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺(tái)-XY結(jié)構(gòu)精致，有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力，上軸速度可達(dá)800mm/s，空載加速度可達(dá)1g。采用線性放大器和ASH反饋，實(shí)驗(yàn)室環(huán)境做好振動(dòng)隔離的前提下，CFT-XY系列平臺(tái)的在位穩(wěn)定性小于3nm，最小步進(jìn)量小于5nm，可用于測(cè)量檢測(cè)、表面粗糙度檢測(cè)、激光切割等需要納米級(jí)定位精度的工業(yè)和科研項(xiàng)目。

CFT-XY在位穩(wěn)定和最小步進(jìn)測(cè)試

5nm最小步進(jìn)（ASH反饋選項(xiàng)，配置線性放大器）

<3nm在位穩(wěn)定性（ASH反饋選項(xiàng)，配置線性放大器）

備注：

（1）經(jīng)過定制2D校準(zhǔn)后，正交性可達(dá)到 5 arc sec；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（3）適配-ASH反饋，線性放大器；

（4）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（5）其他行程可定制。