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SMH115LM系列 直線電機機械臺采用直線電機驅(qū)動，直驅(qū)電機速度快、動態(tài)性能好、摩擦力小，易于實現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。

SMH115LM系列 直線電機機械臺使用高分辨率光柵，電子分辨率可達1nm，通過校準(zhǔn)可使平臺達到亞微米級重復(fù)性和定位精度。而低摩擦側(cè)密封保護其免受灰塵或顆粒污染，保證其長時間正常運行，延長維護周期。 SMH115LM系列為客戶提供線纜管理選項，低摩擦側(cè)封使日常維護更簡易。

SMH115LM系列直線運動平臺是精密機械中的關(guān)鍵部件之一，它主要應(yīng)用于OLED切割、PCB鉆孔、數(shù)控加工、生物技術(shù)、IC封裝設(shè)備、表面形貌測量等領(lǐng)域。為客戶提供一個兼具精密定位，高速度和大負載的精密運動平臺。

SMH115LM系列平臺最小步進和在位穩(wěn)定性測試

20nm最小步進（實驗室環(huán)境，配置線性放大器測試）

±10nm在位穩(wěn)定性（實驗室環(huán)境，配置線性放大器測試）

備注：

（1）適配-AS反饋，以線性放大器；

（2）空載，需配置相應(yīng)功率的放大器；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實際載荷和工作點位置有關(guān)；