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ART130V-5系列 直驅升降臺是納米級定位精度托舉運動升降平臺，直線電機驅動，交叉滾珠導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達150Hz以上。

ART130V-5系列 直驅升降臺是ART130系列水平運動平臺的有效補充，可以與ART130或者ART130XY組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。在一些需要快速聚焦的應用中，ART130V-5 的出色動態性能使其足以滿足嚴苛的技術要求，例如，在基因測序應用中ART130V-5安裝1.7kg負載步進1μm，步進整定到±50nm誤差范圍，能在15ms時間內完成包括加減速和整定在內的所有動作，能快速準確的完成實時聚焦動作。

ART130V-5系列升降臺結構緊湊小巧，但是有較強的驅動能力，最大速度可達75mm/s，空載加速度可達0.7g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環境下，ART130V-5系列升降臺的在位穩定性和最小步進量可以小于5nm，主要應用于通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因測序等，可以根據客戶的應用場景提供靈活的定制方案。

ART130V-5系列升降臺最小步進測試

5nm 步進（配置線性放大器）

0.1mm 步進，50ms整定到±50nm

備注：

（1）平行或垂直于楔形塊方向測量；

（2）沿軸線方向受力；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測試；

（5）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關。