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SMH-V系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級(jí)定位精度托舉運(yùn)動(dòng)Z向平臺(tái)，包括SMH115V-010 、SMH165V-020、SMH190V-035和SMH225V-050等，對(duì)應(yīng)行程分別是12mm、22mm、37mm和52mm。它是ART130XY和SMH-LM系列水平運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的有效補(bǔ)充， SMH-V系列升降臺(tái)具有尺寸緊湊、側(cè)向高度低、定位精度和重復(fù)性?xún)?yōu)良、最小步進(jìn)精度量小、承載能力強(qiáng)和步進(jìn)穩(wěn)定時(shí)間短等優(yōu)點(diǎn)。SMH-V系列升降臺(tái)采用巧妙的機(jī)械設(shè)計(jì)，在保證精度和承載能力的同時(shí)，可以有效節(jié)省安裝空間。

SMH-V系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)能力，最大負(fù)載可達(dá)60kg。配置線性放大器，帶隔振實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，SMH-V系列平臺(tái)的在位穩(wěn)定性和最小步進(jìn)量可以小于20nm，重復(fù)性?xún)?yōu)于±200nm。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測(cè)、光學(xué)透鏡檢測(cè)、生物醫(yī)療和精密加工等領(lǐng)域，可以根據(jù)客戶(hù)的應(yīng)用，在不大幅增加平臺(tái)高度的前提下提供抱閘和斷電自鎖選項(xiàng)，也可以根據(jù)客戶(hù)需求定制更大行程和更強(qiáng)承載能力的高精密升降臺(tái)。

備注：

（1）平行或垂直于運(yùn)動(dòng)方向測(cè)量；

（2）沿軸線方向受力；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測(cè)試；

（5）默認(rèn)測(cè)試點(diǎn)位置為臺(tái)面上方25 mm，單軸指標(biāo)，多軸系統(tǒng)的性能指標(biāo)與實(shí)際載荷和工作點(diǎn)位置有關(guān)；

（6）其他行程可定制。