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SurfaceZ系列 電動直驅升降臺是納米級定位精度的垂直運動Z向平臺，直線電機驅動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達200Hz以上。

SurfaceZ系列 電動直驅升降臺是Surface系列運動平臺的有效補充，可以與Surface-Theta或者Surface-350-350平面氣浮組成多軸系統來滿足客戶應用。在一些嚴苛的半導體應用案例中，對整體運動系統有苛刻的精度和幾何性能要求，Surface系列可以為這類應用提供整體解決方案。SurfaceZ平臺側向高度低，阿貝誤差小且節省空間，內置氣動平衡裝置最大承載15kg負載，可以同時滿足重負載，高精度和低側面的要求。

SurfaceZ平臺結構緊湊小巧，但是有較高的定位精度，配置線性放大器，帶隔振實驗室環境下，SurfaceZ平臺的在位穩定性和最小步進量可以小于5nm，主要應用于半導體領域的光刻、檢測和封裝、外形輪廓測量、生物醫療領域的基因測序等，可以根據客戶的應用提供靈活的定制方案。

SurfaceZ系列升降臺最小步進測試

5nm 步進（配置線性放大器）

0.1mm 步進，50ms整定到±50nm

備注：

（1）平行或垂直于楔形塊方向測量；

（2）沿軸線方向受力；不帶氣動平衡負載能力為8kg；

（3）適配-AS反饋，配置線性放大器；

（4）空載測試；

（5）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（6）其他行程可定制。