該紫外線照射光源采用氙燈作為光源，使用紫外線冷鏡和光學集成商，是一種均勻性良好的光源，僅選擇特定偏轉光進行照射的光源裝置。

2. 設備名稱/型號

紫外線偏振曝光裝置

型號：HC-300PUFM-50

3. 支持的產品尺寸

工作臺尺寸：100mmx100mm

4. 設備尺寸

設備視圖參考

5. 設備配置

本裝置由以下內容構成。

1）照射光源部1臺

2）1個燈亮電源

3）1個干擾濾波器（HBPF313）

4）試料平臺1臺

5）1臺樣品吸附泵箱

6）電纜類1式

7）1個Hg-Xe燈（300W）

8）維修鏡光軸調整鏡1張

6. 設備性能

1）照射光源部分

①使用燈：Hg-Xe300W（UXM-300YA）

②燈泡壽命：平均1000小時（保修500小時）

③照射光譜特性：250nm~500nm

④主波長：313nm

⑤照射照度：2~4mw/cm^2可變

※成為用照度計OAI-306測量了的313nm照度保證值。

⑥照射可變方法：通過手動可變（通過安裝手動照度可變機構進行調整）

⑦照射面積：有效□50mm

⑧照射距離：約20mm

⑨照度分布：±10%以內（@照度2~4mw）

⑩消光比：50：1以上（消光比=S波：P波=χ：1）

（過濾器支架：φ50.8 mm過濾器用

（冷卻：強制風冷

重量：50公斤左右

（涂裝顏色：根據客戶要求

（外形尺寸：見附圖）

2）燈點亮電源部分

①輸入電壓：單相100V±10P/60Hz

②功耗：MAX.700 VA

③點亮控制：開關恒功率控制

④功率可變：約250~300W

⑤穩定度：±2%以內

⑥冷卻：自然對流冷卻

⑦重量：約5千克

⑧涂裝顏色：根據顧客的要求

⑨外形尺寸：見附件附圖

    ⑩快門控制：手動控制（通過開關任意開閉，通過計時器控制時間）

7. 干涉濾波器（HBPF313）

①1片313nm帶通濾波器

通過安裝高透射率干涉濾光器，可以選擇照射波長。

1）LWPF：313nm/365nm/405nm/436nm4種

2）HBPF：254nm/313nm/365nm/405nm/436nm5種

8. 樣品階段

①樣品尺寸：最大100mmx100mm

②高度調節機構：Z軸臺架

③扇動機構：0~50度角度可變（1度單位）

④旋轉機構：90度旋轉機構

⑤吸附機構：防止試料脫落的吸附機構

※吸附用孔的構造是根據另外的碰頭決定的

9. 樣品吸附（真空）泵箱

①輸入電壓：單相100V（由電源部分供電）

②重量：約5Kg

③漆面顏色：黑色（面板面銀色）

10. 安全措施

1）絕緣電阻：各異極間DC500V20MΩ以上

2）絕緣耐壓：輸入-輸出間AC1000V1分鐘

輸出到最終聚集AC500V1分鐘

3）泄漏電流：AC200V下2mA以下（1kΩ/0.15μF測量）

4）殘余能量：在施加最大輸入電壓·空載的情況下，從電源關閉開始經過1分鐘后，必須達到42V以下。

5）噪音對策：1μsec.±600V時不發生故障（正常共態）

6）聯鎖：燈點亮時，打開保養蓋，燈OFF

照射時打開丙烯酸蓋，關閉快門

11. 環境條件

1）使用環境

①環境溫度：20℃~30℃

②相對濕度：65%Rh以下（無冷凝）

③清潔度：建議在1000級以下

2）保存環境

①環境溫度：10℃~40℃

②相對濕度：80%Rh以下（無冷凝）

※請不要在有腐蝕性氣體·多粉塵·可燃性的氣氛和水滴的危險的環境中使用。（特別是在特殊環境下使用時，請咨詢制造商。）

12. 實用

1）電源：單相100V±10P/60HzMAX10A

13. 消耗品

1）燈泡：平均壽命1000小時保證壽命500小時

類型名稱：UXM-300YA

2）橢圓鏡：平均壽命3000小時

壽命因使用環境而異

3）UV平面鏡：平均壽命3000小時

壽命因使用環境而異

4）旋轉螺線管：平均壽命200,000次

5）交換單元：平均壽命50,000小時

14. 驗收條件

另行協商

15. 保證事項

對于我們設計和制造的交付設備，在驗收后一年內出現的缺陷和故障，我們將迅速免費維修和更換。但是下列的情況不屬于保證對象。

①因跌落或極度沖擊而引起的故障和損傷

②在影響電路的灰塵多的地方使用狀態下發生的故障和損壞

③因不當修理改造而引起的故障和損壞

④由于施加異常電壓而引起的故障和損壞

⑤在腐蝕性氣體環境中使用及因天災引起的故障和損壞

⑥非消耗品指定零件的情況

⑦未按照操作說明使用的情況

⑧經調查發現使用方法異常的情況

⑨在規格之外運行的情況

⑩因災害等原因發生故障的情況

※因使用本設備而造成的損壞或損失不在保修范圍內

1）燈泡保修

在正常使用條件下，在亮燈累計500小時內不亮或損壞的，

免費交換。但是，由于燈破裂造成的光學元件損壞需要支付費用。

2）設備保修

除耗材外，在交付一年內按照使用說明書正常使用狀態下

如果發生故障，將免費修理。

※本規格書的內容如有進一步變更，將制作并提交交付規格書。

16. 提交文件（決定交付設備后）

1）審批圖紙普通紙1份

2）工藝表普通紙1份

3）操作說明書潔凈紙1份普通紙1份

4）采購品操作說明書普通紙1份

5）驗收試驗數據潔凈紙1份普通紙1份

6）電氣原理圖潔凈紙1份普通紙1份

7）序列梯形圖*未使用

8）耗材清單潔凈紙1份普通紙1份

9）保養（維護）要領書潔凈紙1份普通紙1份