產品簡介：

ProRGA-7000殘余氣體質譜分析儀是聚光科技基于質譜分析技術平臺開發的一款高性能殘余氣體分析儀，用于檢測特定真空區域內關鍵氣體分壓，適用于真空度10Pa到常壓應用場合。具有毫秒級響應速度和ppb級的靈敏度，非常適合檢測真空泄露狀態，如電池、半導體、凍干機等真空腔體內部特定過程相關氣體的污染水平或動態波動，并及時提醒用戶可能產生的潛在風險，提升產品良品率。

ProRGA-7000殘余氣體質譜分析儀產品特點

檢測效率高：支持多個標記物同時檢測，單組分檢測事件小于0.5s。

產品自動化：具備自動校準功能，消除傳感器云頂飄逸，確保長期數據穩定性

高精度：采用高精度四極桿質量分析器，適用于真空度10Pa到常壓應用場合下ppb級殘余氣體分析。

應用領域

電池、半導體、凍干機等行業