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四氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用普瑞公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。
詳細(xì)介紹
四氯硅烷分析用氦離子色譜儀GC-9280
四氯硅烷分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用普瑞公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。
| 硅(SiHCl3)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（體積分?jǐn)?shù)）/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
| 金屬元素及其他元素含量 | （硼+鋁）（B+Al）含量/（µg/kg）≤ | —— | 0.1 |
| （磷+砷）（P+As）含量/（µg/kg）≤ | —— | 0.3 | |
| 鎵（Ga）含量/（µg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 銻（Sb）含量/（µg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 銦（In）含量/（µg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 鈣（Ca）含量/（µg/kg）≤ | 1 | 0.5 | |
| 鉻（Cr）含量/（µg/kg）≤ | 1 | 0.5 | |
| 鐵（Fe）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鉀（K）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鈉（Na）含量/（µg/kg）≤ | 1 | 0.5 | |
| 鎳（Ni）含量/（µg/kg）≤ | 1 | 0.5 | |
| 鉬（Mo）含量/（µg/kg）≤ | 1 | 0.5 | |
| 錳（Mn） 含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 銅（Cu）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鎘（Cd） 含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鈷（Co）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鋅（Zn）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 釩（V）含量/（µg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
