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硅片氧氣透過率測試儀是一款高精度、高自動化的實驗室儀器，基于庫侖氧氣分析傳感器和等壓法測試原理(也被稱為庫侖電量法)設計而成，參照ASTM
D3985等標準制造，能夠為高、中氣體阻隔性材料提供高精度和高效率的氧氣透過率測試。以下是對硅片氧氣透過率測試儀的詳細介紹：
一、硅片氧氣透過率測試儀工作原理
將預先處理好的硅片試樣夾緊于測試腔之間，氧氣或空氣在硅片的一側流動，而高純氮氣在硅片的另一側流動。氧氣分子穿過硅片擴散到另一側的高純氮氣中，被流動的氮氣攜帶至傳感器。通過對傳感器測量到的氧氣濃度進行分析，從而計算出氧氣透過率等參數。
二、硅片氧氣透過率測試儀應用領域
硅片氧氣透過率測試儀不僅適用于硅片，還廣泛適用于食品、藥品、醫療器械、日用化學、光伏、電子等領域的薄膜、片材及相關材料的氧氣透過性能測試。
三、硅片氧氣透過率測試儀使用方法
樣品準備：根據測試要求，將待測硅片裁剪成適當的尺寸和形狀，并確保樣品表面沒有損壞或污染，以避免影響測試結果。
樣品安裝：將硅片放置在測試腔室中，確保其密封性良好并與高低氧氣濃度區域正確連接。
參數設置：通過氧氣透過率測試儀的控制系統設置適當的測試參數，例如溫度、濕度和測試時間等。實驗室溫度一般應控制在(23±2)℃標準溫度，以避免溫度對測試結果的影響。
氣體選擇：必須使用99.99%的高純氮氣(N2)，低純度氣體會導致無法測試高阻隔材料，測試時間會延長，測試數據誤差大，傳感器也會被損耗。同時，禁止使用易燃、腐蝕性氣體進行實驗。
啟動測試：啟動氧氣透過率測試儀的運行程序，讓儀器自動進行測試。
綜上所述，硅片氧氣透過率測試儀是一款功能強大的測試儀器，能夠準確測量硅片的氧氣透過率。在使用時，需要遵循正確的操作方法和注意事項，以確保測試結果的準確性和可靠性。
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