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四方儀器氨逃逸在線監(jiān)測方案，助力固定污染源氨排放合規(guī)
2025/06/26
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四方儀器始終專注于氣體分析儀領(lǐng)域的技術(shù)研發(fā)與創(chuàng)新，針對薄膜沉積設(shè)備清潔終點檢測需求，推出SiF4紅外氣體傳感器。其基于公司自主知識產(chǎn)權(quán)的雙光束紅外（NDIR）技術(shù)，精確測量半導(dǎo)體應(yīng)?中微量特種?體的紅外光譜吸收，其零點漂移低、重復(fù)性好，確保每次清洗終點一致。測量穩(wěn)定性高（準(zhǔn)確度≤±1.0% F.S.），響應(yīng)速度快（響應(yīng)時間T90≤2秒），實時監(jiān)測氣體濃度變化；原位設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，采用耐腐蝕材料，便于集成與維護；支持模擬/數(shù)字通信，靈活適配各類系統(tǒng)。實際測試中，其成功實現(xiàn)清潔終點的精準(zhǔn)控制，助力CVD設(shè)備技術(shù)升級。
