氣體質量流量控制器用途參數

來源：北京華丞電子有限公司 2018年03月26日 11:23

D07-9E氣體質量流量控制器用途:

質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
D07-9E氣體質量流量控制器技術參數：

產品型號	D07-9E
產品類型	普通型
流量量程	20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm
產品精度	±2％F.S.
重復精度	±0.2% FS
線性	±1％F.S.
響應時間	≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號	(0~5)VDC
電源	±15V
閥類型	常閉
溫度系數	- 無 -
零點飄移指標	- 無 -
電氣連接	D sub 15 pins Male
工作壓差范圍	(0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm）
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式	VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10
表面化學成分	- 無 -
表面粗糙度	- 無 -
抗電磁干擾	- 無 -
重量	2.6Kg

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