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紅外煙氣分析儀消除水分干擾誤差的方法通常兩種：
1.采用脫水裝置的方法有采用干燥劑如無水高氯酸鎂，或者采用NAFION膜式干燥管。其主要問題在于需要經常更換，人為增加了運行維護成本。
儀器生產廠家也有可能在檢定時使用脫水裝置，但是在運行時為減少運行費用不采用該裝置，造成實際運行中的性能改變，導致CEMS監測數據不確定度增加。
2.采用水分傳感器軟件補償的方法一般只修正零點的水分干擾，且低端的分辨率較低。對于同時含水和含SO2,NO的氣體的修正精度很差。
此外對于NO分析儀，由于在相同的氣室長度下，NO的分辨率低于H2O的分辨率，采用水分傳感器修正的方法對NO會造成很大的誤差。
那么如何真正有效降低水分對紅外煙氣分析儀測量的影響呢？紅外煙氣分析儀在傳統微流紅外傳感器的基礎上，增加了調水機構。它是通過將不同溫度下的飽和空氣依次通入紅外傳感器，通過調節調水機構，使得含有非冷凝水的氣體與N2的信號一致。
同時通過硬件調節及線性修正，來消除H2O(氣)對SO2、NOx的干擾。進一步實驗結果還表明，通過該方法調節后的傳感器可以滿足各種水分含量條件下的水分干擾消除，干擾的程度可控制在5ppm以內。
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