非接觸表面粗糙度儀測量表面粗糙度是通過不影響待測表面形貌間接反映待測表面信息的方法。這種方法的優點是測量裝置檢測到與待測表面直接接觸的部分保護測量裝置，同時避免直接接觸測量裝置引入的測量誤差。

非接觸表面粗糙度儀工作流程如下：

測量工件表面粗糙度時，將傳感器放在工件被測表面上，由儀器內部的驅動機構帶動傳感器沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內置的觸針感受被測表面的粗糙度，此時工件被測表面的粗糙度引起觸針產生縱向位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發生變化，從而在相敏整流器的輸出端產生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號，該信號經過放大及電平轉換之后進入數據采集系統，ARM芯片將采集的數據進行數字濾波和參數計算，測量結果在液晶顯示器上讀出，也可在打印機上輸出，還可以與PC機進行通訊。

該設備可以用來測量精密加工零件（平面、圓柱等外表面）光潔度/粗糙度的儀器，也可以用來測量零件表面刻線，鍍層等深度。