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石英亞沸高純水蒸餾器由提純器、石英儲水瓶和儀器工作架三部分組成。在提純過程中因冷凝空間溫度高可制取無菌無熱超純水，加熱絲封閉在殼體內，接受水又不接觸空氣，整個提純過程不受環境污染。儀器為園筒形，臥式標準磨口全封閉石英玻璃儀器系統。
石英亞沸高純水蒸餾器是利用熱輻射原理，保持液相溫度低于沸點溫度蒸發冷凝而制取高純水和高純試劑。而一般的石英蒸餾器，因沸騰蒸餾，氣中夾帶水珠，氣液分離不*，致使水質不高；全玻璃蒸餾器，更因玻璃本身所含的污染，水質更差；離子交換水，又因有機物質的溶解帶入有機物的干擾。石英亞沸蒸餾水器既避免了玻璃雜質的污染，又因液相溫度低于沸點。不致因沸騰而在蒸氣中夾帶水珠。既氣液分離*，因此水質高。可以滿足各種特殊分析用水，廣泛用于各大中院校、科研單位、實驗室制備高純度分析用水。
設備的清洗步驟：
1、本蒸留器工作時間長了，會產生水垢，被蒸水是去離子交換水，這樣可以減少清洗次數。結水垢后可用50%HN03灌進橫式燒瓶內至結垢處，浸泡4～6小時由排水口排出，再用自來水沖洗3次，用去離子水沖洗3次即可重新使用。
2、如長期使用結垢嚴重或因加化學試劑提純(如高錳酸鉀等)產生污染，可用20%HF浸泡處理。但時間不宜長，視蒸餾器光亮為準，浸泡后以去離子水沖洗，平衡純化。
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