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當低溫氣體分子與高溫固體碰撞時，它們會從固體中獲取熱量。通過氣體分子捕獲的熱量計算壓力的真空計稱為多功能真空儀。真空檢測常用的方法有破壞性檢測和無損檢測。
常見的多功能真空儀破壞性試驗方法是用針刺入容器頂部空間，通過壓力（真空）傳感器檢測并獲得真空度。在一定程度上，這種測試方法會受到管道中空氣的影響，可用于真空的粗略抽查，特別是在小型頂空容器中。典型應用是粗略評估密閉容器的完整性測試（CCIT）。方法是將高真空西林瓶的樣品（抽真空到接近0.1mbar）保持半年到一年，然后觀察瓶內真空度。如果里面有一定的真空，即里面的壓力是微負壓，就說明瓶??子不漏氣；反之，如果里面的壓力是常壓，就說明瓶??子漏氣了。
如果用于工藝優化和標準制定，通常采用無損真空測試方法。常見的無損真空測量方法是激光法（即頻率調制光譜（FMS））。其基本原理是空氣中的O2、水蒸氣和CO2在一定波段下會發生激光吸收，從而得到吸收光譜。吸收激光的量（圖中峰高或幅值）與物質的含量成正比，其中水蒸氣激光吸收光譜中的峰寬（波峰與波谷的橫向距離）與物質的含量成正比。總頂部空間壓力。因此，激光法可用于檢測容器的無損真空度。激光法對真空度的小檢測限為7mbar左右，可以測試出接近真實的真空度。
多功能真空儀是電路板布線密度高的精密儀器。一般要求存放在干燥的地方。如果環境潮濕，應經常通電。
1、若試驗后電流值為零，則檢查滅弧室表面是否清潔。由于表面不干凈，泄漏的變化值可能大于電離電流值。這樣，測量值減去泄漏量小于零，被儀器判斷為零。發生這種情況后，將滅弧室表面擦拭干凈，然后進行測試。一般來說，這樣得到的真空值比較準確。
2、使用時，高壓輸出線不得接觸人體，以防觸電。
3、高壓指示燈亮時，請勿觸摸高壓線和磁控電流線，以防觸電。
4、打印紙的拆裝應在儀器先斷電后進行，以免損壞打印機。換紙時，打開前面板，用食指和拇指捏住打印機兩端的兩個夾子，輕輕拉出打印機，使出紙口略高于儀表板，但距離不能太大。將新進紙口剪成尖頭狀，插入打印機進紙口，打開儀器電源開關，按下打印鍵，使出紙離打印機上端一定距離，將其插入面板出口接縫并導出。蓋住打印機面板并裝入紙張。
5、多功能真空儀無用戶可維修部件。如有故障，請請專業人員維修或聯系供應商。請勿擅自打開儀器，以免發生事故或造成不必要的損失。
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