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國產質量流量控制器可以用于控制所有各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但是要注意，對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當選擇型號和密封材料。
通常質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。
金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。質量流量控制器采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。
將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。
質量流量控制器一般指自控式流量控制閥，是一種直觀簡便的流量調節控制裝置，管網中應用自控式流量控制閥可直接根據設計來設定流量，閥門可在水作用下，自動消除管線的剩余壓頭及壓力波動所引起的流量偏差，無論系統壓力怎樣變化均保持設定流量不變，國產質量流量控制器該閥這些功能使管網流量調節一次完成，把調網工作變為簡單的流量分配，有效的解決管網的水力失調。
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