真空氣氛爐主要用在高溫熱處理工藝上，有些工件需要在抽真空并且通保護氣氛的條件下來進行實驗。下面介紹真空氣氛爐抽真空、通保護氣氛的過程。

一、抽真空：抽真空可分為抽低真空和抽高真空兩種。

1、抽低真空：緊閉所有的真空閥門，啟動機械泵，待其運行正常后(大約1-2min)，打開通向爐體的低真空閥即上碟閥，預先對爐體抽低真空。

2、抽高真空：打開下碟閥，對擴散泵進行抽氣，當真空度達到15 Pa以下后，開啟擴散泵進行預熱，一般經過45min左右擴散泵開始其作用，就可以關閉上碟閥，同時開啟主阻擋閥待真空度選到1.33×10^-1次方Pa以上，才可以開啟加熱按鈕對樣品進行加熱。真空計有兩個量程表，低真空量程1.0×10⁵ -1.0×10 ^-1；高真空量程1.0×10 ^-1 -1.0×10 ^-5次方，一般在2Pa開始轉換量程。注意充大氣進去前，應關閉真空計開關，防止真空計老化。抽真空時需注意：上碟閥和主阻擋閥不能同時開啟，

二、通保護氣氛

1.打開上氣路控制閥，使按鈕箭頭指向“開”位置。　　

2.調節流量計旋鈕，使示數在20ml/min。　　

3.打開真空氣氛爐進氣閥，打開保護氣氛氣路上的出口閥門。　　

注意：在通保護氣氛滿十分鐘后，才能開始加熱真空氣氛爐。