什么是微納激光加工？如何運用？

來源：納糯三維科技（上海）有限公司Nanoscribe 2023年02月07日 09:52

　　一、背景介紹：

　　1.分辨率方面，一是可以通過原子力顯微鏡(AFM)或掃描近場顯微鏡(SNOM)等近場技術來提高，二是可以通過使用短波長光源來提高，三是可以通過非線性吸收實現超分辨率成像或制造。

　　2.制造速度方面，除了工程學方法外，隨著激光技術的發展，主要是提出了包括自組裝微球激光加工、激光干涉光刻、多焦陣列激光直寫等并行激光加工方法來提高制造速度。

　　3.并行激光加工技術可以將二維加工技術擴展到三維加工，為未來微納加工技術的發展提供新的方向；同時可以地廣泛應用于傳感、太陽能電池和超材料領域的表面處理和功能器件制造，對生物醫學器件制造、光通信、傳感、以及光譜學等領域得發展研究具有重要意義。

　　二、特點與注意事項：

　　1.由于近場效應，接觸模式可以實現光學超分辨率；二是與傳統的基于AFM/SNOM“筆尖”的近場直接書寫方法相比，不僅可以顯著提高制造速，同時還避免了“筆尖”的磨損。

　　2.大多數情況下微球體的分布過程不受控制，因此在大規模生產中仍然面臨許多挑戰；二在大面積制造中不能避免缺陷，導致該技術僅于科學研究而不是工業生產。

　　三、區別與聯系：

　　1.金屬及半導體材料的表面微加工，表面微加工就是在材料的表面進行微納米級線、孔和凹槽的制備，對加工具有較高的技術要求。而飛秒激光加工技術則是開展表面微加工的有效工具。在理想的表面微加工狀態下，應該保持材料外部的最小損傷。

　　2.光聚合材料的內部三維成型，光聚合材料具備光敏化學作用。在光聚合材料的內部，運用飛秒激光加工技術可以實現較高分辨率的三維加工，主要原理就是產生了雙光子聚合現象。對飛秒激光進行聚焦，產生雙光子吸收效應，作用于光聚合物材料的內部產生固化現象，制備出三維的微結構。

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