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等離子清洗機是如何與材料表面相互作用的？回答這個問題前，我們先了解一下等離子清洗機體具有哪些特性：不穩定性（需要持續供能）、電中性（不管是組成成分還是整體都呈現出電中性）、高活性（具有可以材料表面發生反應的活性粒子和基團）。
當我們讓等離子清洗機去轟擊我們需要處理的材料的表面時，具有高能量、包含帶電粒子、自由基的等離子體會與材料表面發生作用，高能量會向低能量進行傳遞；在這個過程中，等離子體中的具有較高能量的自由基發揮著主要做作用，自由基會與材料表面的分子發生化學反應，與材料表面的分子形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩定的高能量狀態，很可能發生分解反應，在變成較小分子同時生成新的自由基，這種反應過程還可能繼續進行下去，最后分解成水、二氧化碳之類的簡單分子。在另一些情況下，自由基與物體表面分子結合的同時，會釋放出大量的結合能，這種能量又成為引發新的表面反應推動力，從而引發物體表面上的物質發生化學反應而被去除。
另外除了上述的自由基會與材料表面的分子進行化學反應，等離子體中的帶電粒子也會作用在材料的表面，比如等離子體中電子和帶正電荷的陽離子；當等離子體沖擊材料的表面時，質量小的電子要比其他粒子更快到達材料的表面，從而使材料的表面帶有負電荷，這樣更利于等離子體與材料的表面發生化學反應；而帶正電荷的陽離子本身質量就大，在獲得加速后就具有更大能量（動能），陽離子撞擊在材料的表面，使得材料表面的顆粒性物質被撞開而脫離材料，達到去污的目的。
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