氣路系統簡介

     氣路系統產品應用于光伏及半導體領域，在設備工藝管路中實現對流體的相關控制（開關、減壓、過濾、分流、流量控制等），流量計的氣路系統可根據客戶需求提供多種解決方案。

                        氣路系統

應用場景

一、半導體領域

     在集成電路裝備研發和制造中，氣路系統肩負著工藝氣體向腔室的輸送、流量設定、控制特定工藝過程的重要任務。例如調壓前段供氣的壓力，對供氣進行過濾器，并且氣路中可能會直接接觸特氣等介質，因此對潔凈度有較高要求。

      產品選用半導體高純材料，對于顆粒度有著嚴格要求。適用于絕大多數半導體制程設備。

二、光伏領域

     在光伏裝備研發和制造中，氣路系統肩負著向長晶腔室輸送保壓氣體，保持爐內壓力穩定的重要任務。

產品優勢

1、IGS 設計能力：流量計為國內多家半導體客戶定制開發IGS產品解決方案，在IGS的Block-器件拼搭設計及選型等方面積累諸多經驗。

2、全套零部件的解決方案：根據客戶需求進行器件的選，并保證交付的連續供應。

3、高純焊接能力：根據SEMI標準及ASTM標準搭建，可滿足高純凈半導體級焊接需求。

                     大理石平臺及三坐標顯微鏡 

                     焊縫檢測結果