原子層沉積(ALD)在生物方面的可應用方向包含生物模板與仿生，生物相容性涂層，生物檢測電子器件，生物傳感器等。

        在醫學中上有多種植入體內的醫療設備，由于體液的腐蝕性，這些醫療設備的壽命包括安全性一直都是一個難題，而ALD可以通過低溫沉積形成非常致密的保護膜，由于是納米級別的膜厚其本身對醫療設備也不會造成影響，沉積ALD涂層后可以大幅度增加植入設備的壽命以及安全性，也有可能有效的減少更換手術的頻率；同時ALD有多種材料都具有生物相容性，這種涂層對人體組織是沒有任何細胞毒性的，這使得在再生醫學領域中，用于對細胞構建生物相容性底物的制備時，ALD沉積表面涂層能滿足對新型生物相容性材料的需求；而在藥物方面，ALD涂層可以有效的保護顆粒不受周圍空氣和水分的影響，從而大幅度的延長藥物的保質期；目前國外已有許多醫療機構將目光投向了ALD技術，在未來醫療行業的發展中，原子層沉積勢必會擁有一席之地。

圖1：人造骨骼

圖2：Thin TiO₂ Coatings by ALD Enhance the Cell Growth on TiO₂ Nanotubular and Flat Substrates