掃描電子顯微鏡知識介紹

來源：奧達科學有限公司 2023年12月05日 15:07

　　掃描電子顯微鏡的適用范圍：

　　1、生物學：種子、花粉；

　　2、醫學：血球、病毒；

　　3、動物學：大腸、絨毛、細胞、纖維；

　　4、材料：陶瓷、粉末、環氧樹脂；

　　5、化學、物理、地質、冶金、礦物、污泥、機械、電機及導電性樣品，如半導體(IC、線寬量測、斷面、結構觀察)電子材料等。

　　掃描電子顯微鏡基礎知識具有以下的特點：

　　(1) 可以觀察直徑為0 ～ 30mm的大塊試樣(在半導體工業可以觀察更大直徑)，制樣方法簡單。

　　(2) 場深大、三百倍于光學顯微鏡，適用于粗糙表面和斷口的分析觀察;圖像富有立體感、真實感、易于識別和解釋。

　　(3) 放大倍數變化范圍大，一般為 15 ～ 200000 倍，對于多相、多組成的非均勻材料便于低倍下的普查和高倍下的觀察分析。

　　(4) 具有相當高的分辨率，一般為 3.5 ～ 6nm。

　　(5)可以通過電子學方法有效地控制和改善圖像的質量，如通過調制可改善圖像反差的寬容度，使圖像各部分亮暗適中。采用雙放大倍數裝置或圖像選擇器，可在熒光屏上同時觀察不同放大倍數的圖像或不同形式的圖像。

　　(6) 可進行多種功能的分析。與 X射線譜儀配接，可在觀察形貌的同時進行微區成分分析;配有光學顯微鏡和單色儀等附件時，可觀察陰極熒光圖像和進行陰極熒光光譜分析等。

　　(7) 可使用加熱、冷卻和拉伸等樣品臺進行動態試驗，觀察在不同環境條件下的相變及形態變化等。

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