真空干燥過程就是將被干燥物料置放在密閉的干燥室內，用真空系統抽真空的同時對被干燥物料不斷加熱，使物料內部的水分通過壓力差或濃度差擴散到表面，水分子在物料表面獲得足夠的動能，在克服分子間的相互吸引力后，逃逸到真空室的低壓空間，從而被真空泵抽走的過程。真空干燥能夠方便地回收有用和有害的物質，而且能做到密封性良好。從環境保護的意義上講，有人稱真空干燥為“綠色干燥”。

在真空狀態下，物料濕氣的沸點降低、汽化過程加速，因此就特別適合于對溫度敏感而且易分解的物料。真空干燥主要在低真空區域內進行。糧食水分在汽化過程中，其沸騰蒸發溫度與環境壓力成正比，把高水分糧食放置在密閉的干燥筒內，使干燥筒形成并維持一定的真空度，同時對干燥筒內的糧食不斷加熱，使糧食內部的水分通過壓力差擴散到表面，汽化后被真空泵抽走，實現真空低溫狀態下連續對高水分糧食進行脫水干燥。真空干燥使水分的沸騰蒸發溫度從100℃降低到40℃以下，由于蒸發溫度低于淀粉的糊化溫度，不會對糧食籽粒產生損傷。避免了糧食籽粒的膨脹和爆腰，能夠保證糧食干燥后的產品質量。保證了物料烘后原有色、香、味、營養成份、品質基本不變，是真正意義上的低溫干燥，與一般的熱風低溫干燥*不同。

真空冷凍干燥（vacuumfreezedrying）技術是使物料首先凍結，然后在真空條件下升溫，使冰升華達到zui后干燥的目的。采用的加熱方式有紅外線加熱、微波加熱等，所提供的熱量既要快速使冰升華，又不能使產品表面受到損傷。真空冷凍干燥技術能夠保持產品原有的色、香、味、形以及營養成分，特別對熱敏性物料的干燥，是生產綠色食品有前途的一種干燥方法。