3D顯微鏡/輪廓儀產品介紹

3D成像顯微鏡在形貌量測功能領域具有突出表現。由于物鏡的小分辨率和長焦深，樣品不能由單次拍照獲得。為了能夠觀察到長焦深范圍內小尺寸特征和結構，托托科技采用景深融合技術，一次性觀察不同焦深的高分辨率圖像，保證了樣品形貌量測準度和一致性。同時，該系統還集成了景深延拓功能，景深延拓通過分析不同焦點高度處的對比度變化，實現對物體的三維表面測量和特征描述，能夠詳細檢查物體表面，并以長景深的方式獲取精確的三維成像。3D成像顯微鏡是一種快速且高分辨率的技術，用于大范圍的表面拓撲測量，能夠實現亞納米級分辨率的重建。

3D顯微鏡系列

具有高表面粗糙度重復精度、高垂直方向的測量精度、快速測量、觀測細節可視化、數據化等優勢，同時能夠支持較大尺寸樣品，非常適用于各個領域的精密測量。

神影 Miracle Vision系列提供了非接觸的表面形貌測量，具有可重復性，可廣泛應用于半導體芯片、光學透鏡、金屬表面、汽車涂層、MEMS器件等廣泛精密加工行業的形貌、粗造度長度、曲率、深度、體積、顆粒分布等形貌測量，同樣適用于航天、醫療、材料、科學研究領域。可檢測各種粗糙度、各種反射率的器件表面，檢測器件的表面尺寸從納米、微米到毫米，都可由同一臺設備完成，提供主流的國內外標準下，上百種測量參數，將觀測細節可視化、數據化，一次完成。

Miracle Vision 3D顯微鏡

• 表面粗糙度重復精度高達0.1 nm

• 垂直方向測量精度可達1 nm

• 支持樣品尺寸可達1000 mm及以上

景深融合-清晰的2D成像

由于物鏡的小分辨率和長焦深不能由單次拍照獲得。為了能夠觀察到長焦深范圍內小尺寸特征和結構，托托科技采用景深融合技術，一次性觀察不同焦深的高分辨率圖像。

景深延拓-景深延拓3D成像

景深延拓通過分析不同焦點高度處的對比度變化，實現對物體的三維表面測量和特征描述，能夠詳細檢查物體表面，并以長景深的方式獲取精確的三維成像。

白光干涉形貌儀-納米級的3D形貌量測

白光干涉形貌儀是一種快速且高分辨率的技術，用于大范圍的表面拓撲測量，能夠實現亞納米級分辨率的重建。