晶圓烘箱的應用

來源：愛義信工業科技（上海）有限責任公司 2025年03月04日 09:03

晶圓烘箱用于晶圓、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

　　工作原理主要基于熱對流方式。在烘箱內部，通過電熱器等產生熱風，使熱風循環流動，從而對待烘干的半導體材料進行均勻地加熱和干燥。這種加熱方式特別適合處理較厚的半導體材料，并能達到較好的烘干效果。

　　晶圓烘箱通常具有多種特性，例如密封性能好、置物架設計方便、控溫靈敏準確等。在半導體制造過程中起到了保證晶圓干燥度和表面純凈度的重要作用，是確保半導體器件質量和可靠性的關鍵環節之一。

　　本公司提供的晶圓烘箱采用導軌式智能AI溫度控制模塊，控溫精度0.1級，自動恒溫，智能PID演算，帶30段程序升溫，帶傳感器斷線警報，AT自整定，超溫控制，斷電記憶功能，控溫準，穩定性好。

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