產(chǎn)品介紹

輸出：頻率，20 kHz 電壓，+ / - 800 V 功率，120kW

高達 140 千瓦

中頻/雙極脈沖發(fā)生器 HXB 900 - HXB 1400 將高性能、緊湊型設(shè)計和快速滅弧結(jié)合在一個穩(wěn)定的控制柜中。這種雙極脈沖發(fā)生器適用于長達 4 米的陰極反應涂層工藝。

陰極功率的自動平衡和不對稱脈沖功率的功率商調(diào)節(jié)器（高達 10: 90%）優(yōu)化了鍍層質(zhì)量并延長了靶材壽命。發(fā)生器自動記錄所有相關(guān)工藝參數(shù)并不斷調(diào)整其滅弧。調(diào)試或目標更改無需手動設(shè)置。即使在非空調(diào)環(huán)境中，強大的水冷系統(tǒng)也能確保最大的可靠性。

特點

輸出功率 90 kW -140 kW

水冷

陰極反應涂層工藝長達 4 米

自動平衡 陰極輸出

不對稱 脈沖功率的功率商控制器（高達 10: 90%）

全自動電弧管理 （0.3mJ/kW）

工藝重現(xiàn)性

優(yōu)于 2%

常用型號

ADL HXB 900

ADL HXB 1050

ADL HXB 1200

ADL HXB 1400

技術(shù)數(shù)據(jù)

電流調(diào)節(jié)、電壓調(diào)節(jié)或功率調(diào)節(jié)，

電壓控制自動點火

通過接口卡的外部操作模式

精度 + / - 電流、電壓或功率標稱值的 1%

脈沖功率分配 10 至 90% 或自動平衡

脈沖頻率 20 kHz，固定

脈沖關(guān)閉時間（消隱時間） 2 µs 至 20 µs（自動調(diào)整）

工作原理 雙極

滅弧自動參數(shù)調(diào)整

刪除時間 <2 µs

電弧能量 <0.3 mJ/kW

德國ADL雙極脈沖發(fā)生器 HXB1200系列功率120kW