它由真空泵FV-W和真空鑷子C007組成。

●無需設置單獨的泵進行吸入和排出，而是在一個系統中兼用，因此可以實現緊湊的機身。

●由于該結構將吸入和排出兩個回路連接到一個組合連接器（雙管），因此只需一根管子即可吸入和排出。

四、應用領域

▌ 半導體制造

• 晶圓蝕刻（10?? mbar超高真空）

• 鍍膜設備（分子泵+低溫泵組合）

▌ 醫療設備

• MRI超導磁體抽真空

• 真空冷凍干燥機（-80℃工況）

▌ 科研實驗

• 粒子加速器（10?1? mbar）

• 太空環境模擬艙

▌ 工業產線

• 食品真空包裝（10?2 mbar）

• 鋰電池注液除氣泡

• 技術趨勢

• 智能化：AI預測性維護（準確率>95%）

• 微型化：MEMS真空泵（芯片級尺寸）

• 綠色技術：無氟潤滑劑應用

• 混合系統：渦旋+吸附泵復合抽氣

• 結論：真空泵作為現代工業的"真空心臟"，其技術發展直接推動半導體、新能源等產業進步。干式、節能、智能化將成為未來主流方向。