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超純水設備是一種用于制備電阻率高、雜質含量極低的超純水的水處理工業設備，廣泛應用于微電子、半導體制造、發電系統、制藥工藝及實驗室分析等領域。
超純水設備主要通過預處理、反滲透、超純化及后級處理等技術去除水中導電介質、膠體物質及有機物。其核心工藝包括石英砂過濾、活性炭吸附、反滲透膜分離及電去離子(EDI)技術。在純化室中，離子交換樹脂吸附溶解鹽中的陰陽離子，同時直流電場驅動離子定向遷移至濃水室，并通過膜分離技術實現雜質富集排放。高電勢區域促使水分解生成H+和OH-離子，可原位再生樹脂，無需外加化學試劑。
超純水設備在電子、半導體、制藥、化工、實驗室等眾多領域都有著廣泛的應用。在電子和半導體行業，超純水用于芯片制造、電路板清洗等工藝，確保產品的高質量和高性能；在制藥行業，用于藥品生產過程中的溶劑配制、注射劑制備等，保障藥品的安全性和有效性；在實驗室中，為各種精密儀器分析、生物實驗等提供了純凈的實驗用水，確保實驗結果的準確性和可靠性。
設備的內部循環管道和反滲透膜容易積聚污垢和細菌，影響水質和設備壽命，需定期進行系統清洗。
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