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日本LINTEC（琳得科）汽化器 的典型型號及技術(shù)介紹，適用于半導(dǎo)體、電子封裝等領(lǐng)域的精密涂布工藝：
1. 核心型號及特點
(1) 標準型汽化器
型號：VEC-2000
用途：液態(tài)材料（光刻膠、溶劑）的汽化沉積
技術(shù)參數(shù)：
汽化溫度范圍：50~300℃（±0.5℃控溫）
最大流量：2000cc/min
適用材料粘度：1-1000cP
優(yōu)勢：
? 均勻汽化，膜厚偏差＜±3%
? 模塊化設(shè)計，支持快速換料
(2) 高精度型
型號：VEC-3000P
用途：半導(dǎo)體晶圓級封裝（如PI膠、SiO?前驅(qū)體）
技術(shù)參數(shù)：
汽化精度：±0.1mg/min
支持惰性氣體保護（N?/Ar）
集成式過濾器（防顆粒污染）
優(yōu)勢：
? 適用于高純度工藝（Class 100潔凈環(huán)境）
? 符合SEMI標準
2. 行業(yè)應(yīng)用
| 領(lǐng)域 | 應(yīng)用案例 | 適配型號 |
|---|---|---|
| 半導(dǎo)體封裝 | 晶圓凸點封裝（Underfill） | VEC-3000P |
| 顯示面板 | OLED薄膜封裝 | VEC-2000 |
| 光伏 | 太陽能電池鈍化層沉積 | VEC-2000 |
3. 技術(shù)優(yōu)勢
無氣泡汽化：專的利渦流加熱技術(shù)，避免材料分解
智能控制：觸摸屏設(shè)定參數(shù)，自動記錄工藝數(shù)據(jù)
安全設(shè)計：過溫/過壓保護，通過CE/JIS認證
4. 選型建議
基礎(chǔ)工藝：VEC-2000（性價比高）
高純環(huán)境：VEC-3000P（超低顆粒釋放）
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