1. 產品概述

2. 主要特點

• 無油設計：隔膜泵不需要使用潤滑油，因此不會污染真空腔內的環境，特別適合高清潔度要求的應用。
• 低振動和低噪音：運行平穩，噪音和振動水平較低，適合在實驗室和精密設備環境中使用。
• 耐腐蝕性強：隔膜和泵腔通常采用耐腐蝕材料制成，能夠處理含有腐蝕性氣體的環境。
• 高可靠性：結構簡單，維護成本低，使用壽命長。
• 緊湊設計：體積小，重量輕，便于安裝和集成到各種系統中。

3. 技術參數

• 極限真空度：通常可以達到10?3 Torr（具體取決于型號）。
• 抽氣速率：從幾升/分鐘到幾十升/分鐘不等，具體取決于泵的大小和型號。
• 工作壓力范圍：從大氣壓到極限真空度。
• 適用氣體：可以處理多種氣體，包括干燥空氣、惰性氣體和部分腐蝕性氣體（需根據具體材料選擇）。

4. 應用場景

• 半導體制造：用于光刻、蝕刻和薄膜沉積等工藝中的真空環境。
• 科研實驗：在物理、化學和材料科學實驗中提供穩定的真空環境。
• 電子工業：用于電子元件的制造和測試。
• 醫療設備：在需要高清潔度的醫療設備中使用，如質譜儀和真空干燥設備。
• 食品工業：用于真空包裝和干燥工藝。

5. 型號舉例

6. 維護與保養

• 定期檢查隔膜：隔膜是隔膜泵的關鍵部件，需定期檢查其磨損情況，及時更換。
• 清潔泵腔：定期清理泵腔內的灰塵和雜質，以保持泵的性能。
• 檢查密封性：確保泵的密封性能良好，避免漏氣。
• 避免過載運行：不要長時間在極限真空度下運行泵，以免損壞隔膜。

7. 優勢與選擇理由

• 高清潔度：無油設計確保真空環境的純凈。
• 低維護成本：結構簡單，易于維護。
• 高可靠性：適合長時間穩定運行。
• 多樣化選擇：提供多種型號和配置，滿足不同用戶需求。