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PGI輪廓儀技術信息

來源:無錫駿展儀器有限責任公司   2025年08月12日 16:41  

技術亮點

PGI輪廓儀采用先進的非接觸式白光干涉(White Light Interferometry, WLI)技術,結合高精度的Z軸掃描系統,能夠實現亞納米級的垂直分辨率。其核心優勢在于:

高分辨率與高動態范圍:PGI可在微米至毫米級的測量范圍內,實現表面粗糙度、輪廓、平面度、波紋度等參數的精確分析,適用于從超光滑表面到復雜幾何結構的廣泛樣品。

快速三維成像:通過高速掃描與圖像拼接技術,PGI可在短時間內完成大面積三維表面形貌的重建,顯著提升測量效率。

多功能集成:支持多種測量模式,包括點測、線掃、區域掃描等,配合強大的分析軟件,可滿足ISO、ASME等國際標準的評定需求。

應用領域

PGI輪廓儀廣泛應用于:

半導體制造:用于晶圓表面缺陷檢測、薄膜厚度測量及光刻膠輪廓分析。

光學元件檢測:對透鏡、反射鏡等光學表面的面形誤差進行高精度評估。

生物醫學材料:研究植入物表面微結構對細胞附著的影響。

科研與教育:為材料科學、納米技術等領域提供可靠的實驗數據支持。


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