靜電執行器是一種將靜電力產生的能量轉換為動力來移動物體的裝置。

靜電執行器主要用于光學領域，用于變焦鏡頭、快門和顯示器等部件。

其特點是重量輕、柔軟、薄、透明，充分利用這些特性，除了光學領域外，還有望應用于人類。

研究實例包括機器人的人造肌肉、假肢手臂和腿等。正在進行開發以實現類似于真實人體部位的運動。

靜電執行器的應用

微機電系統

靜電執行器通常用作MEMS的驅動裝置。

MEMS是微機電系統的縮寫，是包括半導體、電子電路等的總稱。

MEMS 也包含半導體，但與普通半導體的不同之處在于它具有運動部件。

由于對使用半導體的部件的小型化有需求，因此需要可以做得很薄的靜電執行器。

人工肌肉

護理機器人、假肢、假臂等支持人體運動的設備需要靈活且復雜的動作。為了應對這一挑戰，人們正在研究人造肌肉，并使用靜電執行器為其提供驅動力。

靜電執行器的原理

靜電驅動器的原理是平行板電容器。電容器具有儲存和釋放電荷的功能。當發生這種情況時，會產生靜電力并將其轉化為驅動力。

產生的靜電力與極板面積成正比，與極板間距離的平方成反比。因此，盡可能地使薄膜變薄，可以增大靜電力，從而獲得較大的驅動力。

靜電執行器體積小，其缺點之一是產生的驅動力的絕對值較小。為了克服這一缺點，除了使其厚度變薄之外，還采用了并聯排列等方法來增加面積，從而增大驅動力。

除了靜電執行器外，根據其使用的力，還有以下類型的執行器
。 每種執行器都有各自的優缺點，因此了解如何使用它們非常重要。

熱執行器

其優點是制造容易，缺點是由于材料的各向異性，驅動力會根據使用位置而變化。

電磁執行器

可用于液體中，擴大了應用范圍，缺點是難以小型化。

壓電執行器

其優點是驅動力較大，缺點是會產生磁滯損失，驅動力可能會變得比施加的能量弱。